Amasyalıdır. Çilehâne Tekkesi şeyhi İzzeddîn Hasan Efendi’nin mahdûmu ve kudâtdan Kutbeddîn Mustafa ve şuarâdan Abdurrahman Abdî Efendilerin birâderidir. Amasya’da hutût-ı münevvi’ayı Kâtib İsmail ve ulûm-ı edebiyyeyi Küçük Hâce [29] Mehmed Ali Efendilerden aldı.
Ba’dehû Mâliye tahsîlâtında bulunup sadr-ı esbak Bayram Paşa’ya intisâb ederek müşârün-ileyhin sâye-i ikbâlinde İstanbul’da Mâliye kalemi’ne girdi. Terakkî ederek şıkk-ı evvel defterdârı Amasyalı Hacı Efendizâde İbrâhim Paşa’nın zamanında 1049 şevvâlinde Konya defterdârı oldu.
Ba’dehû gayret ve sadâkatı görüldüğünden Kars Zülkadiriye sancağıyla Haleb defterdârı olup 1054’de azledildi. 1055 senesi zilhiccesinde Musûl Beylerbeyi olarak bir yıl kadar Musûl eyâletinin tahsîlât-ı mâliyesi ve muhâfazası husûsunda çalışdı.
1056’da ma’zûlen Amasya’ya gelip 1057’de Çankırı ve ba’dehû 1060’da Karahisâr-ı Şarkî sancakları mutasarrıfı olup 1061’de Kars eyâleti Beylerbeyi oldu. Kars’a giderken Erzurum havâlîsinde vefât etdi. Amasya’da Çilehâne Mahallesi’nde bir çeşmesi olup “Şâfî Çeşmesi” demekle meşhûr olmuşdu. Mâliye ve teşrifât defterlerinde “Şâfî Mehmed Paşa” diye yazılıdır.